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日期：2018-07-11瀏覽：4565次

吉時利KEITHLEY源表在統一自動特征分析套件中、集成測試系統整合各種測試硬件，具有全面而*的測量能力：

·吉時利強大的4200-SCS半導體特征分析系統具有I-V源測量功能和專業脈沖測試工具包，用于先進半導體材料測試的4200-PIV工具包。

·2600系列數字源表測試儀具有TSP-Link和測試腳本處理器(TSP)，可在運行狀態下的NBTI測試或圓片級器件特征分析等應用中實現可擴展的I-V通道系統、高速并行測量和復雜測試序列等功能。

·2400系列數字源表測試儀能夠提供高電壓和高電流源，可用于高功率MOSFET和顯示驅動器測試等領域。

·此外ACS集成測試系統還為用戶提供可選擇的開關、C表和脈沖發生器等附件。

吉時利KEITHLEY源表其中一些主要應用如：

·通用超快I-V測量。脈沖式I-V測試具有很廣泛的應用，它通過使用窄脈沖和/或低占空比脈沖而不是直流信號，能夠防止器件自熱效應。

·CMOS器件特征分析。4225-PMU/4225-RPM的高速電壓源和電流測量靈敏度使得它們非常適合于CMOS器件的特征分析，包括高k器件和先進CMOS工藝，如絕緣體上硅。

·非易失性存儲器測試。系統安裝的KTEI軟件提供了用于閃存和相變存儲器器件測試的工具包。該系統非常適合于單個存儲單元或小規模存儲陣列的測試，例如研發或工藝驗證之類的應用。

·化合物半導體器件與材料的特征分析。能夠對III-V族材料進行特征分析，例如氮化鎵、砷化鎵和其它一些化合物半導體。它允許用戶設置一個脈沖偏移電壓，然后從非零值進行測量，從而研究器件的放大增益或線性度。

·NBTI/PBTI可靠性測試。自動特征分析套件軟件還支持全自動晶圓級和晶匣級測試，內置NBTI/PBTI測試庫，具有簡潔易用的GUI。

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